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高端設備類產品
UPEALA-200/300設備是用于硅基功率器件退火加工的專業工藝設備，主要由工藝加工系統和晶圓傳輸系統組成。UPLD-150/200/300
UPLD-150/200/300
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產品中心
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UPEALA-200/300設備是用于硅基功率器件退火加工的專業工藝設備，主要由工藝加工系統和晶圓傳輸系統組成。UPLD-150/200/300
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